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真空退火炉的快冷操作方法

点击次数:   更新时间:22/08/19 13:53:08     来源:www.sdjcqb.com

  真空退火炉在使用中升温结束后,进入冷却阶段,这时可以选择自然冷却,或者是采用快冷的方法,具体需要根据工艺而定,当选择采用快冷时,具体的操作方法如下。
  1、按工艺要求调整充气压力表的上、下限,调整风机控制压力表的上、下限,在无纸记录仪上调好风机启动温度。
  2、按步骤关闭各真空泵、阀。扩散泵阀→扩散泵→预抽阀→真空阀→罗茨泵→滑阀泵。
  3、按“充气阀”、“确定”,充气阀打开,向真空退火炉内充入高纯的N2或Ar(纯度≥99.999%)当炉内压力接近充气压力上限时,关“充气阀”,打开“微充阀”,直到充气上限为止。


 

  4、当达到设定的风机启动温度后,按“风机”、“确定”风机启动,炉温快速冷却。
  5、若热交换器及风机出水温度较高,应适应调大其供水阀,以利缩短冷却时间。
  6、当真空退火炉炉温达到100℃以下,关闭风机,打开扩散泵上部的手动阀,排出炉内气氛,直至炉压与大气压平衡,方可打开炉门,取出产品。
  真空退火炉需要采用快冷方式进行操作时,一定要提前对操作程序有所认识和了解,这样才能更好的达到效果,以免操作失误对产品以及设备造成伤害。

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